台积电2023年5纳米产能将提升至去年4倍，2纳米工

作者：张馨予

　　晶圆代工龙头台积电营运组织资深副总经理秦永沛6月2日表示，2023 年 5 纳米产能与 2020 年相较，将大增逾 4 倍；而为提高 3 纳米与 2 纳米开发与生产效率，原先计划的研发中心将改为晶圆十二厂第八期、第九期，其中第八期将于今年完成，也计划建造 2 纳米制程晶圆厂，正进行土地取得程序。

　　台积电今日举办 2021 年技术论坛，秦永沛指出，台积电承诺持续投资产能，以支援全球客户需求，迅速提升 7 纳米、7 纳米强化版与 6 纳米产能，今年 7 纳米系列产能与 2018 年相比，将会大幅成长超过 4 倍，而 2023 年 5 纳米产能与 2020 年相较，同样将大幅成长逾 4 倍；2018 年至 2021 年，先进制程技术产能增加 3 成以上。

　　秦永沛表示，5 纳米制程 D0 值 (平均缺陷密度) 比 7 纳米同期的表现还好，已低于 0.1，广泛采用 EUV 是其中一项重要因素，而 4 纳米初期 D0 值表现也相当不错，预期 2022 年会跟 5 纳米一样好。

　　秦永沛指出，去年台积电装设的 EUV 机台设备，约占全球 EUV 技术产能的一半，占全球累计晶圆数量的 65%，且今年台积电的 EUV 光罩护膜产能将是 2019 年的 20 倍，以满足大量量产需求。

　　特殊制程技术方面，秦永沛说明，台积电特殊制程包括电源管理、混合讯号、传感器、指纹辨识等，产能将年增 12%。

　　晶圆厂区规划方面，秦永沛指出，位于台南厂区的晶圆十八厂，前三期厂房已量产 5 纳米制程，第四期正在施工中，十八厂第五到八期是 3 纳米生产基地，正准备中；晶圆十四厂第八期将是未来特殊制程生产基地，先进封装生产基地也在兴建中。

　　新竹厂区部分，秦永沛表示，为提高 3 纳米与 2 纳米开发与生产效率，原先计划的研发中心将改为晶圆十二厂第八期、第九期，其中第八期正在兴建中，将于今年完成，也计划建造一座生产 2 纳米制程的新晶圆厂，目前正进行土地取得程序。

　　至于美国亚利桑那州厂，秦永沛指出，该厂区位于凤凰城机场的北边，第一期正兴建中，预计 2024 年采 5 纳米制程量产，月产能 2 万片。