等这届高考生毕业,氧化镓能改变世界吗?



我们都曾被一句“充电5分钟,通话2小时”洗脑,又快又小的充电头有谁不爱。


自从手机厂商在快充中用到了氮化镓(GaN),这种第三代半导体材料便几乎成为快充标配。


在你刚用上氮化镓制成的充电头时,科学家与产业界便已瞄准更强的第四代半导体材料:氧化镓(Ga2O3),它能造出更强的充电头。


当前国内超三分之二的半导体产品完全依赖进口,高端半导体材料更是遭遇卡脖子。但氧化镓不同,这种新兴材料在国内外均在产业化前夜,我们有突破和超越的潜力,因此值得重点关注。


一、出生即巅峰


第四代半导体材料有不少“潜力股”,但其中氮化铝(AlN)和金刚石仍面临大量科学问题亟待解决,氧化镓则成为继第三代半导体碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)之后最具市场潜力的材料,很有可能在未来10年左右称霸市场。


氧化镓有5种同分异构体,分别为α、β、γ、ε和δ。其中β-Ga2O3(β相氧化镓)最为稳定,当加热至1000℃或水热条件(即湿法)加热至300℃以上时,其他所有亚稳相的异构体都会被转换为β相异构体。[1]


β相氧化镓材料是目前半导体界研究最多,也是离应用最近的材料,目前产业化均以β相氧化镓为主,下文讨论内容也均指代β相氧化镓。


β相氧化镓的熔点为1820 ℃,其粉末呈白色三角形结晶颗粒,密度为5.95g/cm3,不溶于水[2]。其单晶具有一定的电导率,不易被化学腐蚀,且机械强度高,高温下性能稳定,有高的可见光和紫外光的透明度,尤其在紫外和蓝光区域透明,这是传统的透明导电材料所不具备的优点。[3]


等这届高考生毕业,氧化镓能改变世界吗?

氧化镓不同同分异构体具体参数,制表丨果壳硬科技


等这届高考生毕业,氧化镓能改变世界吗?

氧化镓各同分异构体相互转换关系,图源丨《物理学报》[4]


氧化镓天资卓越,材料属性天生丽质,出生就注定能够成为市场热捧。它拥有着超宽带隙(4.2~4.9eV)、超高临界击穿场强(8MV/cm)、较短的吸收截止边及超强的透明导电性等优异的物理性能。氧化镓器件的导通特性几乎是于碳化硅(SiC)的10倍,理论击穿场强是碳化硅的3倍多。


不止如此,它的化学和热稳定性也较为良好,同时能以比碳化硅和氮化镓更低的成本获得大尺寸、高质量、可掺杂的块状单晶。


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第一代~第四代半导体材料特性对比,制表丨果壳硬科技


等这届高考生毕业,氧化镓能改变世界吗?

氧化镓对比硅、氮化硅和碳化硅,图源丨《新材料产业》[5]


但材料领域从来没有十全十美,也从来不存在单兵作战。一方面,氧化镓的迁移率和导热率低,不及碳化硅和氮化镓,可能受到自热效应影响,从而导致设备性能下降;另一方面,实现p型掺杂难度较大,难以制造p型半导体,成为实现高性能器件的主要障碍。[6]


好在研究人员发现,当温度由室温升高至250℃时,氧化镓制造的器件性能不会出现明显的衰退,实际应用中很少会超过250℃,并且氧化镓器件可以非常小、非常薄,所以即使热导率低,也可以非常有效地进行热管理[7]。同时,业界已设计多样的器件构型,有效规避了p型参杂困难的问题,实现了良好的器件性能。


虽然这两个缺陷可以避免,但实际应用中仍需进一步探讨。


使用氧化镓制作的半导体器件可以实现更耐高压、更小体积、更低损耗,因此它在光电探测、功率器件、射频器件、气敏传感、光催化、信息存储和太阳能利用等都有潜在应用价值。目前为止,日盲紫外光电探测器件和功率器件(SBD、MOSFET)是氧化镓商业化趋势明朗的两个领域。


二、制备是问题





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