100年，中国“芯”！写在纳米薄膜上的生日“贺

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　　原标题：100年，中国“芯”！写在纳米薄膜上的生日“贺卡”，来自北航！

　　

　　

　　

　　以实际行动和优异成绩庆祝建党100周年

　　党的百年华诞前夕

　　北京航空航天大学

　　献上了一张特殊的生日“贺卡”

　　在厚度为5个原子层的

　　纳米磁性薄膜上

　　北航科学家们写下祝福

　　“100年，中国‘芯’”

　　

　　

　　2021年6月29日

　　新华社报道——

　　

　　点击上图阅读新华社报道

　　磁性芯片可作为高可靠的信息存储模块

　　和高灵敏的磁信号传感模块

　　应用于飞机、卫星的控制系统

　　以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等领域

　　磁性芯片生产过程中

　　需将纳米磁性薄膜均匀铺在晶圆上

　　（晶圆：制作硅半导体集成电路所用的衬底）

　　

　　5个原子层的厚度

　　相当于一张普通打印纸的十万分之一

　　要确保所有晶圆完全“躺平”有多难？

　　相当于在北京市海淀区的地面上

　　均匀铺满5层厚的小米粒

　　且须完全平整！

　　

　　因此

　　检测薄膜的平整度尤为关键

　　磁性芯片生产过程中的

　　磁性薄膜检测这一关键技术

　　属于我国长期被“卡脖子”的技术

　　科研人员利用检测仪器

　　通过微小的磁性针尖在薄膜上写字

　　若字的颜色对比度一致、字迹清晰

　　则表明薄膜具有良好的均匀性

　　完成平整度检测后

　　将纳米薄膜制成器件

　　封装后形成芯片

　　

　　这一检测仪器

　　正是由北航集成电路科学与工程学院

　　工艺与装备系科研团队设计研发出的

　　晶圆级磁光克尔测试仪

　　“

　　        对比国外同类设备，这台仪器在测试精度和速度等方面进行了技术革新，实现了自主创新突破。

　　——集成电路学院工艺与装备系主任 王新河

　　”

　　该设备现已应用于科研领域

　　且预计于今年10月

　　在产业领域投入商用

　　

　　1993年

　　中国科学院科研团队

　　用10个原子摆出“中国”字样

　　标志着我国可自主实现原子操纵

　　

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