透射电镜常见故障维修精编

作者：张馨予

打开电源启动仪器，机械泵旋转一周，然后迅速停止。

【故障分析】：

从故障现象分析，机械泵能旋转一周，说明启动电源没有问题，机械泵旋转要靠启动感应传感器来维持旋转，问题可能在传感器及控制系统，检查真空系统未发现异常。

【故障排除】：

用备件传感器更换，开机故障不变，因此重点放在检查控制系统，打开控制系统检查发现内部很潮湿，部分机械部件已生锈，问题根源应该就在于此。取下生锈部件进行除锈清洗，烘干并加一些润滑脂防锈，清理控制器内部潮湿区域，安装复原修理部件，通电开机机械泵恢复正常旋转，故障排除。

小结：分析原因机械部件生锈导致机械动作受阻，使机械泵启动困难被憋死，传感器无感应信号最后保护电路动作，切断工作电源。

故障三（JEM-1200EX）

【故障现象】：

开机抽真空机械泵（RP）运行正常，30秒后V12阀打开，随即几秒钟后V12阀又关闭，机械泵停止保护状态，5分钟后仪器自动关机，无法工作。

【故障分析】：

仪器自动关机，说明某处异常进入保护状态，循环水系统，空压机系统，真空抽取系统都是重点检查对象。

【故障排除】：

检查循环水水温、水流量正常。

检查空压机运行正常，压力指示正常。

检查负责低真空的机械泵（RP）运行正常。

检查负责高真空的扩散泵（DP）情况，打开扩散泵发现加热盘（炉）是冷的，用万用表测量内部加热丝已烧断（正常为65欧左右），说明加热盘已损坏。更换备用加热盘，安装复原扩散泵，检查各部件及接线无误后，重新开机经过40分钟运行，各真空参数恢复正常，各阀门也按顺序正常打开，仪器恢复正常工作。

小结：扩散泵加热盘（炉）连续工作时间较长，加热丝容易烧断，需要经常检查和维护，损坏后及时更换。

故障四（JEM-1200EX）

【故障现象】：

开机前面抽真空一切正常，当进行到打开V6a阀抽电照相真空时，结果真空度下降，V6a阀无法打开，自动回到前一级抽真空，反复循环真空度始终上不去。

【故障分析】：

由于前面抽真空没有发现问题，在进行照相室抽真空时，真空度下降，分析照相室有可能存在泄漏。进行真空度泄漏检测，结果照相室泄漏最快，由此判断照相室确实存在泄漏。

【故障排除】：

照相室结构复杂，密封口较多，查找漏点较为困难。因此，根据先易后难的原则逐步检查和排除故障部位。

1、清洗照相时门边框及密封条，重新涂抹密封脂，开机故障不变。

2、清洗前端大观察窗和两侧小观察窗及密封条，重新涂抹密封脂，开机故障不变。

3、清洗照相室底部扫描附件，重新涂抹密封脂，故障不变。

4、检查小荧光屏扳手组件密封情况，组件结构复杂，不好随意拆卸检查，临时加工一个部件代替组件，开机故障不变。说明组件无泄漏问题，换回组件，重新涂抹密封脂。

5、检查V3阀、V9阀真空泄漏率，工作正常未发现泄漏，

6、检查照相室后盖组件密封衔接处，临时加工一个部件代替组件，开机抽真空V6a阀能正常打开，说明故障在后盖组件上，仔细检查发现组件上电极的绝缘材料老化开裂导致真空泄漏。用密封胶封住开裂部位，干燥后组件重新涂抹密封脂，安装复原，开机抽真空运行恢复正常，故障排除。

小结：照相室是电镜关键部位，真空要求很高，密封不良就会导致无法工作，因照相室的密封部位较多，应遵循先易后难的原则逐步检查，否则有可能会扩大故障范围，特殊部位可加工一些部件临时替代进行密封，以便于故障部位的判断，也能提高检修效率。

故障五（JEM-1200EX）

【故障现象】：

电镜开机时间很长， V3阀无法打开，荧光屏显示PI-3电流值在40μA以上。（注：正常PI-3电流值应该≤40μA，各电镜电流值略有差异，以安装调试电流值为准。）

【故障分析】

因为只有PI-3电流值应该≤40μA时，V3阀才能打开。真空测量元件真空规（皮拉尼规）安装在照相室内，更换样品经常打开照相室，真空规经常接触空气，容易被污染，导致真空检测灵敏度降低，PI-3电流值无法下降到40μA以下，所以V3阀无法打开。

【故障排除】：

开机照相室放气，内部达到正常大气压后关机，从镜筒下方取出真空规，用丙酮进行清洗，干燥后密封处涂抹密封脂，安装复原，开机抽真空观察PI-3电流值情况，电流降到40μA以下，V3阀正常打开，电镜运行恢复正常工作，故障排除。