相城一项目入选2021年省科技成果转化专项资金拟立项项目

作者：张馨予

　　近日，2021年省科技成果转化专项资金拟立项项目进行公示，全省共89个项目入选。其中，苏州相城一项目成功上榜。这也是2017年以来相城区在该专项资金项目中取得的新突破。

　　省科技成果转化专项资金立项项目是江苏省财政预算常年安排的单项资助金额最大的项目，因入选项目科技含金量高、所获支持力度大而备受关注。相城区此次上榜项目，是金宏气体的集成电路用电子级正硅酸乙酯的研发及产业化项目。

　　苏州金宏气体股份有限公司成立于1999年，是专业从事气体的研发、生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型气体综合供应商，主要为客户提供各种大宗气体、特种气体和天然气的一站式供气解决方案。公司于2020年6月在科创板上市（股票代码：688106）。公司建设有国家企业技术中心、国家博士后科研工作站、省级高纯特种气体工程中心；商标、专利等知识产权多次荣获知名商标及专利奖；企业先后获评国家专精特新“小巨人”企业、国家火炬计划重点高新技术企业、国家知识产权优势企业、国家工信部品牌培育试点企业、江苏省创新型企业、苏州市市长质量奖等荣誉，并与南京大学、浙江大学、天津大学、苏州大学、华东师范大学等多所国内知名高校院所开展产学研合作。

　　该项目目标产品为集成电路中制备外延材料时使用的电子级正硅酸乙酯(TEOS)，属于微电子高端化学品，是第三代半导体材料和新兴半导体产业中重要的前驱体材料，需要严格控制金属离子杂质的含量。项目研发过程中，金宏气体凭借十几年电子气体开发经验，在天津大学的技术支持下，克服电子级TEOS纯化过程中金属离子等杂质难以去除、痕量金属难检测、设备、管道、包装容器易污染等多项技术难题，形成了具有自主知识产权的电子级TEOS纯化、检测、过滤、充装技术。

　　“目标产品的大规模生产，促进我国半导体行业的发展，解决‘卡脖子’难题。”金宏气体相关负责人介绍，项目研发对实现国内集成电路电子材料的自主可控、打破国外垄断以及国产替代进口具有十分重要的意义。

　　近年来，我区科技创新能力显著增强，科技成果转化率不断提高，项目规模和科技含量持续提升。相城区将提升企业创新能力、培育创新型企业集群作为根本落脚点，不断创新项目组织机制，采取无偿资助、贷款贴息等方式，促使区内科技成果的转化落地不断提速，帮助一批高成长性的项目企业由小到大、由弱到强，由追赶者变成了领跑者的“小巨人”，培育了一批创新型领军企业。（庞淑婕）